基本信息：
中文名稱 三(三甲基硅基)硅烷
中文別名 三(三甲硅烷基)硅烷;三(三甲硅基)硅烷;1,1,1,3,3,3-五甲基-2-(三甲基甲硅烷基)三硅烷;
英文名稱 TRIS(TRIMETHYLSILYL)SILANE
英文別名 1,1,1,3,3,3-Hexamethyl-2-(trimethylsilyl)trisilane;1,1,1,3,3-HEXAMETHYL-2-TRIMETHYLSILYL-TRISILANE;TTMSS;Tris(trimethylsilyl)silane;
CAS號 1873-77-4
合成路線：
1.通過四(三甲基硅基)硅烷合成三(三甲基硅基)硅烷，收率約88%；
2.通過苯硅烷合成三(三甲基硅基)硅烷
合成路線僅供參考